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河北省科学技术计划项目直径2-亚愽体育
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4月22日,省科学技术厅组织相关专家组成检查组,检查河北同光晶体有限公司承担的河北省科学技术计划项目直径2-4英寸高质量碳化硅单晶开发。参加专家听取项目组的工作报告、技术报告,审查相关检查资料,考察生产现场,经质疑答辩和认真讨论,同意该项目通过检查。

碳化硅作为第三代半导体材料,具有耐高压、耐高温等特性,将来取代现在通用的第一代半导体材料硅。目前,同光公司已建成具有国内先进水平的碳化硅单晶片生产线,在制备过程中,对籽粒安装缓冲装置进行改造优化,降低了单晶开裂的风险和六方空洞缺陷密度,通过引入特殊气体和加热元件的优化,实现了碳化硅气氛的比例优化,降低了晶体生长对环境变化的敏感度,通过中国科学院半导体检测,碳化硅单晶的各项指标达到了任务书的要求。该项目实施期间,对设备、热场、技术等核心领域进行专利申请,目前获得国内发明专利4项,实用新专利28项,制定企业标准1项。

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该项目的检验标志着保定市第三代半导体材料的制备有了新的突破,为保定市创造新的经济增长提供了有利条件。


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